Das InPolish System glättet eine Waferseite durch einseitiges Inline Polier Ätzen. Die glatte Oberfläche wird für hocheffiziente Zellkonzepte wie Rückseiten passivierte Zellen benötigt, verbessert die Rückseitenreflektion und ermöglicht eine effiziente Passivierung der Rückseite. Zusammen mit der InSiOx und der InOxSide wird die RENA Toolbox für Rückseiten passivierte Zellen ergänzt.

Vorteile im Überblick

• Ermöglicht Prozess Schemen für Rückseiten passivierte Zellen
• Einseitige Inline Prozesse:
  - Optimierte Aufstellfläche
  - Ideale Prozess-und Arbeitsfluss-Integration
• Geeignet sowohl für multi-und monokristalline Zellen
• Technologieführerschaft
  - Prozessinbetriebnahme durch RENA
  - Ätztiefe und Poliergrad einstellbar