Das InPolish System glättet eine Waferseite durch einseitiges Inline Polier Ätzen. Die glatte Oberfläche wird für hocheffiziente Zellkonzepte wie Rückseiten passivierte Zellen benötigt, verbessert die Rückseitenreflektion und ermöglicht eine effiziente Passivierung der Rückseite. Zusammen mit der InOxSide® wird die RENA Toolbox für Rückseiten passivierte Zellen ergänzt.

Vorteile im Überblick

• Ermöglicht Prozess Schemen für Rückseiten passivierte Zellen
• Einseitige Inline Prozesse:
  - Geringer Flächenbedarf
  - Ideale Prozess-und Arbeitsfluss-Integration
• Prozessinbetriebnahme durch RENA
• Ätztiefe und Poliergrad einstellbar
• Geeignet sowohl für multi-und monokristalline Zellen