Bester Medienverbrauch seiner Klasse

Die InOx Serie garantiert die effiziente Entfernung der PSG Schicht in der Solarzellen Serienfertigung. In der RENA InOxSide® findet die PSG Entfernung und die p-n-Übergang Isolation innerhalb einer Anlage statt, wodurch die Prozessintegration und der Workflow in der Linie verbessert werden. Die p-n-Übergang Isolation geschieht durch die Ätzung der Zellrückseite, wobei die Oberfläche der Vorderseite trocken bleibt.  

Vorteile im Überblick

• PSG Entfernung und p-n-Übergang Isolation in einem einzigen Tool
• p-n-Übergang Isolation durch die Emitterentfernung auf der Rückseite
  - Ermöglicht die Bearbeitung von Rückseiten passivierten Zellen
• Steigerung der Zelleneffizienz
• Prozessinbetriebnahme durch RENA