Das InDop System bringt einen dünnen und homogenen Film Phosphorsäure vor der Inline Diffusion auf den Wafer auf. Durch die Verwendung von weichen Rollen zur Phosphorsäure Auftragung wird ein robuster Prozess mit niedrigen Betriebskosten und ein extrem sanfter Wafertransport und damit höchste mechanische und Prozessausbeute erzielt.

Vorteile im Überblick

• Optimale Inline Integration mit RENA InTex Systemen
• Beidseitige Beschichtung für optimiertes P-gettering auf beiden Seiten
• Inline-Qualitätskontrolle durch Onlineüberwachung der abgeschiedenen Phosphorsäureschicht
• Bildung einer dünnen, leicht entfernbaren PSG-Schicht
• An die Textur angepasster Dotierprozess