IPA freie, basische Texturierung von mono Si-Wafern

monoTEX® ist ein neuartiges Benetzungsmittel für die basische Texturierung. Siedetemperatur und Prozesstemperatur liegen bei IPA sehr nahe beieinander und erschweren deshalb den Gebrauch. RENA monoTEX® agiert bei Temperaturen weit unter dem Siedepunkt und verhält sich bei Veränderung der Temperatur oder des Alkali-Gemischs nahezu linear. 

Features and benefits

• IPA frei
• Production proven by processing > 300 million wafers
• Prozesstemperatur unter dem Siedepunkt
• Kein VOC und kein Einsatz von riskanten Flüssigkeiten
• Großes Prozessfenster
• Prozesszeit 
   • < 20 min garantiert mit RENA pre-cleaning
   • Üblicherweise 15 min
• Einheitliche Pyramiden ( 2 – 5 μm )
• Durchschnittliche Reflektion < 12.5 % zwischen 400 – 1100 nm
• Lineares Verhalten bei Veränderung der Parameter
• Kosten effizient
• Bad Lebensdauer > 30 Durchgänge mit RENA pre-clean
• Sichere Handhabung durch schnelle Entlüftung von Wasserstoff
• Umweltfreundlich durch sparsamen, biologisch abbaubaren Mediengebrauch