Schnellere Texturierung für hohen Durchsatz
Textur Tuning durch RENA - Wir minimieren die Prozesszeit zur Erzielung ihrer optimalen Pyramiden Größenverteilung. Sie spezifizieren die Waferoberfläche, wir garantieren die reproduzierbare Textur.

Vorteile im Überblick

• Prozessgarantie für eine große Spanne von spezifizierten Wafern
• Sägeschadenätzen und Texturierung in einem Schritt möglich
• Gleichmäßige Textur durch einen Vorreinigungsschritt erleichtert
  Messung des aktuellen Siliziumabtrags
• Kurze Prozesszeit, typisch 15 min mit RENA monoTEX®
• Geringer Chemiekalienverbrauch
• Bis zur 30 Durchläufe pro Badansatz
• Kontrolle der Pyramidengröße in gewissem Fenster, typisch von 2 – 6 µm oder 6 – 10 µm
• Mächtige Datenbank zur Ereignis Verfolgung
• Flexible Rezeptanpassung

• NEU BatchTex HT > 4800 wafer/h
• IPA freie Mono-Texturierung mit über 4800 wafern/h