Dieser Prozess besteht aus den Einzelschritten Etching, Rinsing und Drying. Die Oxid-Ätzung mit nur einem Prozess-Bad leistet einen Beitrag zur Qualitätsverbesserung entlang der gesamten PV-Prozesskette.

Vorteile im Überblick

• Realisierbar auch durch integrierte All-in-one-Lösung mittels HF/O₃ Trocknung
• Prozess ohne Nachspülen
• Minimierter Wasserverbrauch
• Anwendung von Ozon in flüssigem und gasförmigem Zustand möglich
• Verbesserte Haftfähigkeit der AR-Schicht möglich