Ein nasses Transportband vereinzelt die vorgereinigten Wafer direkt aus dem Waferkorb heraus. Gebrochene und dicke Wafer werden aussortiert. Das anschließende Verteilsystem bringt die Wafer auf vier oder mehr Spuren.

Vorteile im Überblick

• Direkte Vereinzelung aus dem RENA PreWaClean Waferkorb, zeitsparender und schonender Prozess
• Wafer werden mit einem Wasserstrahl aufgefächert
• Entfernen von gebrochenen und dicken Wafern
• Standard Anlagendesign für 156mm Wafer, Optional für 125mm Wafer
• Integriertes Verteilsystem bringt die Wafer auf vier oder mehr Spuren