Die neue RENA PreWaClean garantiert beste Reinigungsergebnisse, minimalen Wasserverbrauch und hervorragende Durchsätze.

Vorteile im Überblick

• Während konventionelle Lösungen aufwändig eingefahren werden müssen, sorgen RENA Anlagen für das perfekte Zusammenspiel mit vor-und nachgelagerten Prozessschritten
• Hervorragende Reinigungsergebnisse, homogene Waferoberfläche, keine Wasserflecken
• Optimierte Reinigungsbäder
• Integrierte Kleberablösung
• Hoher Automatisierungsgrad, verbesserte Reinigungskapazität
• Angepasste Technologien für alle Wafer-Formate und -Größen
• Wasser Recycling System