RENA VarioUnload - die Automatisierungslösung zum zuverlässigen und schnellen Entladen von Inline- und Batch-Anlagen. Dank der modularen Bauweise kann das Entladen in Stacks, Carriern oder eine einzelnen Spur eines nachgelagerten Prozesses erfolgen.

Vorteile im Überblick:

• Modulare Bauweise - Erweiterungen oder Änderungen jederzeit, auch im Feld, möglich.
• Entladen in Stacks, Carriern oder eine einzelne Spur eines nachgelagerten Prozesses  
• Hohe Anlagenverfügbarkeit dank Reduzierung von mechanischen Komponenten, Uptime < 98%
• Geringe Bruchrate von < 0,1%
• Hoher Durchsatz von bis zu 3.600 Wafern/h (modell- und optionsabhängig)
• Kompakter Footprint
• Optimierte Betriebskosten