RENA VarioLoad - die Automatisierungslösung zum zuverlässigen und schnellen Beladen von Inline- und Batch-Anlagen. Dank der modularen Bauweise kann das Beladen aus Stacks, Carriern oder von einer einzelnen Spur aus erfolgen.

Vorteile im Überblick:

• Modulare Bauweise - Erweiterungen oder Änderungen jederzeit, auch im Feld, möglich.
• Beladen aus Stacks, Carriern oder vorgelagerten Anlagen mit einer Einzelspur 
• Hohe Anlagenverfügbarkeit dank Reduzierung von mechanischen Komponenten, Uptime 98%
• Geringe Bruchrate von < 0,1%
• Hoher Durchsatz von bis zu 3.600 Wafern/h (modell- und optionsabhängig)
• Kompakter Footprint
• Optimierte Betriebskosten