RENA VarioLink - die Automatisierungslösung zur direkten Verbindung zweier Inline-Anlagen.

Vorteile im Überblick:

• Modulare Bauweise - Erweiterungen oder Änderungen jederzeit, auch im Feld, möglich.
• Direkte Verbindung von zwei Anlagen, d.h. von der Ausgabe der ersten Anlagen zur Eingabe der zweiten Anlage
• Hohe Anlagenverfügbarkeit dank Reduzierung von mechanischen Komponenten, Uptime 98%
• Geringe Bruchrate von < 0,1%
• Hoher Durchsatz von bis zu 3.600 Wafern/h
• Kompakter Footprint
• Optimierte Betriebskosten