Messen, prüfen, sortieren - der RENA QCheck übernimmt diese Aufgabe zur Klassifizierung aller Wafer und Zellen. Der modulare Aufbau ermöglicht die Integration diverser Messeinrichtungen. Das anschließende Sortiermodul kann beliebig, in zweier Schritten, erweitert werden.

Vorteile im Überblick:

• Inspektion für: Geometrie, Mikrokristallinität, Verschmutzung, Sägemarken, Muschelausbrüche, Bow, Mikro-Crack, TTV, Lifetime, Dicke, Gewicht
• Unbegrenzte Sortiermöglichkeit - die Klassifizierungsmodule können beliebig, in zweier Schritten, auf kleinstem Raum erweitert werden
• Einsatz von kundenspezifischen bzw. marktüblichen Meßsystemen möglich
• Durchsatz 3.600 Wafer/h