Durchgangsloch Beschichtungssystem zur Herstellung von "Interconnects". Das auf dem Tsunami System basierende Strömungssystem garantiert den optimalen Chemieaustausch in tiefen Strukturen, ohne Schaumgenerierung. Hierdurch wird die Badlebensdauer erhöht.

Vorteile im Überblick

• Stabiler und reproduzierbarer Prozess
• Bewährte "High Density Interconnect" Anwendungen
• Stromloses Cu mit sehr guter Cu auf Cu Haftung
• Direktmetallisierung mit Abscheidung verschiedener Metalle
• Tsunami Strömungssystem mit HDF Technologie
• Optimiert für die Anwendung in Löchern und Vias
• Ruhige Flüssigkeitsströmung zur Schaumverhinderung und Badlebensdauerverlängerung
• Konditionierung mit Ultraschall Einheit