Homogenes Ätzen für Ultra Fein Linien Technologie.

Es ist nicht nur die perfekte Prozess Gleichförmigkeit, sondern auch die gute Zugänglichkeit die unsere Anlagen einzigartig machen.

Vorteile im Überblick

• Gleichförmige Linienätzung
• Optimierte Strömungsdynamik mit hohen Flussraten
• Oszillation senkrecht zur Transportrichtung
• Gestaffelte Sprühdüsen Konfiguration
• Düsenanordnung auf Transportlücke ausgelegt
• Fronttüren mit separater Wasserdichtung