Die neuesten RENA Trocknertypen minimieren Ihre Prozesszeiten und steigern dadurch Ihren Durchsatz. Standardisierte Schnittstellen sorgen für einen optimalen Datenaustausch. 

Trocknung
Trocknungstechnologien für alle Anforderungen der Siliziumwaferreinigung.

Vorteile im Überblick:

• Carrierless Handling
• Alle Trocknungsverfahren aus einer Hand je nach Anlagenkonzept
     Marangoni ® Trocknung
     HF/O3 Trocknung
     Heisswasser Trocknung
     Einzel Wafer Schleuder Trocknung
     Carrier Spin Rinse Trocknung
• Rückstandsfreies Trocknen