Angepasste und aufeinander abgestimmte Handlingsysteme bieten Ihnen beste Ergebnisse und höchste Produktivität. Steigern Sie Ihren Durchsatz mithilfe unserer kurzen Taktzeiten.

Wafer Handling und Transport
Für das sichere Handling der empfindlichen Wafer sorgen speziell abgestimmte Automations- und Transfersysteme.

Vorteile im Überblick:

• Carrierless Handling
• Voll- oder teilautomatisierte Anlagen
• Hohe Variabilität durch modulare Bauweise
• Standard und Schnellumsetzung < 1 sec
• Kundenspezifische Verdichtung der Wafer
• Wartungsfreundliche Anlagen
• Minimaler Wafer Kontakt