Das wesentliche jederzeit im Überblick - RENA bietet eine wirtschaftliche Ingetration all Ihrer Prozess- und Qualitätskontrollen.

Measuring & Classification Badanalyse
Höchste Qualitätsstandards in allen Nassprozessschritten werden durch permanente Kontrollen der Prozessbäder gesichert.

Vorteile im Überblick:

• Komplette Prozesskontrolle
• Prozessentwicklung und Produktionsunterstützung
• Optimierte Prozessintegration
• Badanlayse online/offline
• Titration online/offline
  
  
  
  

Measuring & Characterization
Bei der Qualitätskontrolle und Materialflussüberwachung von Nassprozessschritten können Geräte zur Charakterisierung der Waferdicke, Ätzraten, Rauheit, Geometrie, sowie weiterer Kriterien in die RENA Anlagen integriert werden.

Vorteile im Überblick:

• In-Line-Metrologie
• In-Line-Analytik
• Oberflächencharakterisierung z.B. Rauheit
• Advanced measurement tools (300mm)
• Dickenmessung
• Warp und bow detection